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产品1

激光导热仪检测设备TM3B

型号:TM3B

适用产品:微小领域(微米等级)和纳米薄膜等

测量项目:热渗透率、(热扩散率)、(热传导率)

重复精度:耐热玻璃、硅的热渗透率±10%以内

输入电源:AC 100V~1.5kVA

外形尺寸(W × D × H mm):730(W) x 620(D) x 560(H)mm

本体重量( kg):80kg



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产品应用

微小领域(微米等级)、纳米薄膜、Sic(单晶体、多晶体)、AIN等的测量。


激光导热仪检测设备M3B主要是测量热物性值中热渗透率的一种设备,可以进行微小领域(微米等级)和纳米薄膜等的测量。

激光导热仪检测设备TM3B的优势:

・ 激光导热仪检测设备是测量热物性值中热渗透率的一种设备;

・ 可以通过点、线、面测量样品的热物性;

可测量微米等级的热物性值的分布;

・ 全球首个非接触方式且高分辨率的热物性测量设备;

检测光点径3μm、高分辨率来测量微小领域的热物性(点、线、面  测量);

可改变深度范围进行测量,从薄膜、多层膜到散装材料都可测量;

・ 基板上的样品也可测量;

・ 激光非接触式测量;

・ 可检测薄膜下的裂纹、孔隙、脱落等问题。


 主要规格


 名称/商品名 

   热物性显微镜/Thermal Microscope

 测量模式

   热物理性分布测量 (1次元・2次元・1点)

 测量项目  

   热渗透率、(热扩散率)、(热传导率)

 检测光点径

   3μm

 1点测量标准时间

   10

 测量对象薄膜

   厚度 数百nm~数十μm

 重复精度

   耐热玻璃、硅的热渗透率±10%以内

 样品

   ・样品支架 30mm×30mm,厚度5mm,样品表面的镜面需要研磨

   板状样品30mm×30mm以内,厚度3mm以内,样品表面需Mo溅镀 

 使用温度范围

   24℃±1℃(根据设备内部温度感应器)

 平台移动距离

   X轴方向20mm  方向20mm   方向10mm

 加热用激光

   半导体激光波长:808nm

 检测用激光

   半导体激光波长658nm

 电源

   AC 100V~1.5kVA

 标准配件

   样品支架、基准样品

 *选项

   光学平台、空调机、空调用booth、spatter装置

 本体

   外形尺寸:730(W) x 620(D) x 560(H)mm  重量:80.0Kg

 电源箱

   外形尺寸:620(W) x 480(D) x 310(H)mm  重量:26.4Kg

  ※设备的性能以及外观有改善变更时,不会事先告知。



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